国别及厂家

奥地利 徕卡公司

投入日期

2017年1月

规格型号

Leica EM TIC 3X

仪器负责人

刘金英、燕丹

联系电话

刘金英15659142813、燕丹18850737800

安放地址

福州大学科技园1号楼北106

性能参数

三把离子枪，离子束能量1~10keV，可选择任意离子枪； 可进行离子束切割或刻蚀，切割速率150μm/h（Si@10kV，50μm切割高度），可获得的有效切割截面面积4×1mm； 离子束处理过程中样品位置固定，无需偏转运动，无投影效应，热传导性好； 样品处理过程可通过体视镜实时监控；真空泵解耦合设计，无震动传导； 触摸屏操作面板，直观、简易操作，通过USB即可进行参数和程序的上传或下载。

主要应用

Leica EM TIC 3X三离子束切割仪几乎适用于任何材质的样品。 特别适合于软/硬复合、带有孔缝结构、脆性及非均质样品等高难度样品； 可获得样品的无损伤平面或截面，从而进行扫描电子显微镜，微区分析（EDS，WDS，Auger，EBSD）以及原子力显微镜或扫描探针显微镜检测。Leica EM TIC 3X通过离子枪激发获得的离子束，以垂直于样品的侧面纵向轰击样品，可获得高质量无应力“切割”截面，或以一角度轰击样品表面，获得所需要的干净，平整的观察表面，便于扫描电镜分析和观察。 该处理方法适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度样品的制备；仪器操作简单。

样品要求

截面切割样品尺寸，对于不同的样品台，≤10mm×8mm×7mm 或 ≤25mm×25mm×5mm； 平面抛光样品直径≤20mm，厚度≤12mm。

面向学科

可面向材料科学及其相关领域。

其他说明