仪器名称 |
高真空镀膜仪 |
国别及厂家 |
德国/徕卡 |
投入日期 |
2023年7月 |
规格型号 |
EM ACE600 |
仪器负责人 |
周巧琴、陈志鑫 |
联系电话 |
周巧琴13706960805、陈志鑫13599062306 |
安放地址 |
阳光科技大厦北114 |
性能参数 |
1、极限真空度:2×10-6mbar(连续抽真空24h) 2、镀膜厚度:1-20nm可调,自动终止,检测精度0.1nm 3、镀膜方式 1)离子溅射法; 2)脉冲式碳丝蒸发镀膜法; 3)离子溅射+脉冲式碳丝蒸发镀膜法; 4)辉光放电; |
主要应用 |
广泛应用于岩片、玻璃、陶瓷、塑料、高分子材料、MOF、COF等非导电材料的导电处理。也可用于非导电样品能谱及EBSD 分析镀膜、材料科研领域的镀膜及太阳能电池镀电极等方面。 |
样品要求 |
1.送检样品必须为干燥固体、表面清洁。 2.应有一定的化学、物理稳定性,在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形。 3.无毒、无放射性、无腐蚀性。 4.对含水份较多的生物样品,要求先固定、清洗、脱水及用醋酸(异) 戊酯置换等处理,最后进行临界点干燥处理。 5.一般情况下,样品尺寸尽量小些(< 10x10x5mm较佳)。 |
面向学科 |
应用于材料、物信、化学化工、机械、生物、医学、农学等学科 |
其他说明 |
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