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高真空镀膜仪


仪器名称

高真空镀膜仪

国别及厂家

德国/徕卡

投入日期

20237

规格型号

EM ACE600

仪器负责人

周巧琴、陈志鑫

联系电话

周巧琴13706960805、陈志鑫13599062306

安放地址

阳光科技大厦北114

性能参数

1、极限真空度:2×10-6mbar(连续抽真空24h)

2、镀膜厚度:1-20nm可调,自动终止,检测精度0.1nm

3、镀膜方式

1)离子溅射法;

2)脉冲式碳丝蒸发镀膜法;

3)离子溅射+脉冲式碳丝蒸发镀膜法;

4)辉光放电;

主要应用

广泛应用于岩片、玻璃、陶瓷、塑料、高分子材料、MOF、COF等非导电材料的导电处理。也可用于非导电样品能谱及EBSD 分析镀膜、材料科研领域的镀膜及太阳能电池镀电极等方面。

样品要求

1.送检样品必须为干燥固体、表面清洁。

2.应有一定的化学、物理稳定性,在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形。

3.无毒、无放射性、无腐蚀性。

4.对含水份较多的生物样品,要求先固定、清洗、脱水及用醋酸(异) 戊酯置换等处理,最后进行临界点干燥处理。

5.一般情况下,样品尺寸尽量小些(< 10x10x5mm较佳)。

面向学科

应用于材料、物信、化学化工、机械、生物、医学、农学等学科

其他说明

 


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