国别及厂家

费勉仪器科技（上海）有限公司

投入日期

2025.01

规格型号

定制化

仪器负责人

肖光参 何运慧

联系电话

0591-22867191

安放地址

福州大学国家大学科技园1号楼北230

性能参数

特色功能：

1．超高真空PVD薄膜生长：目前安装了Cu，SrTiO3，ITO，NdNiO3靶材。

2．等离子改性：能够满足多种气体（包括 Ne、Ar、N₂、O₂，H₂、CF₄、CH₄等）及其混合气体的等离子激发，可对样品表面进行改性处理。

3．超高真空内激光快速加热：样品台工作温度：80 K-1400 K。

4．原位高温高压反应：对样品进行原位反应，真空传样，保证样品不暴露大气进行准原位XPS测试。

5．手套箱样品准备：通过手套箱对空气敏感样品进行XPS样品制样以及传样。

主要技术指标：

1．高真空直线管道：

（1）腔体通径不少于148 mm，腔体经充分烘烤后的极限真空不低于5×10^-10mbar；

（2）超高真空轨道和外部驱动模块，超高真空直线导轨不少于2 m；

2．超高真空生长腔体（PVD）：

（1）本底真空不低于5×10^-8mbar;

（2）超高真空四轴高温样品架: 样品台温度范围：RT-1000K, 四路质量流量计;

（3）四组2寸直流溅射靶, 最大溅射功率：750 W DC，250 W RF, 带晶振套装；

3．激光快速加热台：样品台工作温度：80 K-1400 K, 制冷方式：液氮降温；加热方式：激光加热；

4．高温管式炉模块（CVD）：最高温度可达1100℃，PID控制，炉内配备石英支架。

5．等离子改性模块：高效等离子发生器，能够满足多种气体（包括 Ne、Ar、N₂、O₂，H₂、CF₄、CH₄等）及 其混合气体的等离子激发，可对样品表面进行改性处理。

6．手套箱模块：与快速进样腔体对接，实现样品的无损制备及传递。

主要应用

1. 固体物理和材料科学：研究新材料（如半导体、超导体、纳米材料等）的结构和性能。

2. 催化剂研究：在催化剂的开发和优化过程中，考察其表面性质和反应机制。

3. 生物材料和药物研究：分析生物材料的表面特性和相互作用，评估其在生物医学应用中的表现。

4. 薄膜与涂层：用于研究涂层和薄膜的成分、结构及其在不同条件下的稳定性。

5. 电子器件开发：微电子和纳电子器件的制作中，分析材料的电子特性和界面效应。

样品要求

面向学科

其他说明

（附仪器应用典型案例）