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薄膜物性 原子力显微镜(布鲁克DI) 原子力显微镜(安捷伦5500)
原子力显微镜(布鲁克DI)

 

仪器名称

原子力显微镜

国别及厂家

美国 布鲁克公司

投入日期

20246

规格型号

Dimension Icon

仪器负责人

燕丹、刘金英

联系电话

燕丹18850737800、刘金英15659142813

安放地址

福州大学科技园1号楼北222里间

性能参数

技术参数

1、扫描器:

1.1XYZ 三轴闭环扫描器:XY方向扫描范围:90微米。

1.2XYZ 三轴闭环扫描器:Z方向扫描范围:10微米。

1.3Icon具备XYZ三方向全探针扫描技术的扫描器,扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动,而样品为静止状态。

1.4、进针方式:智能自动进针方式。

1.5Icon采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式,以保护探针及样品。

1.6、噪音水平:Z方向:0.035nmRMS);XY方向:0.15nmRMS)。

2、样品台:

2.1、样品台尺寸:210mm;能放置最大样品高度:15mm;样品台自动移动XY行程:180x150mm

2.2、样品台可真空吸附样品

2.3、样品台可360度旋转

3、控制器:

3.1、控制器内置三个锁相放大器。

3.2、每条扫描线可获得更多的数据点(16,000)

3.3、具有8通道同时成像。

3.4、具有8个通道可同时获得:5000×5000数据点。

3.5、热噪音法标定探针弹性系数的频率上限:2MHz

3.6、可提供智能扫描模式:采用以正弦波驱动压电陶瓷管做力曲线的皮牛级力作反馈进行表面成像,且力曲线频率:2000Hz

3.7、可提供智能扫描模式:用户只需要选择扫描范围,系统就能够在扫描过程自动调节“接触力”,“电路增益”,“扫描速度”和“扫描管的量程范围”。

3.8、可提供扭转共振模式:使用具有双压电陶瓷的探针支架来实现扭矩共振模式。

3.9、可提供扭转共振模式:监测悬臂梁扭矩共振扭转幅度或扭矩共振相移信号。

3.10、可提供编程多点自动扫描模式。

3.11、配合自动样品台,可实现多位点多样品的自动移动、下针及测试等。

3.12、高分辨定量纳米机械力学:在不影响成像速度下,以力曲线测量作反馈,在高分辨率(10nm分辨率)形貌成相的同时可以同步原位获得高分辨率材料表面模量,表面附著力,形变量,能量损耗等。模量:10Kpa-100 Gpa,包含探针支架、定量力学模式, 标准样品范围是:2MPa to 70Gpa,可以自动执行分析软件中的定量力学工作流程,包括力学数据读取,可直接上传标定探针的参数计算高精度的模量结果。

4、其他配件

4.1、辅助光学显微镜具备缩放功能,视野单边长度可调节范围:200微米至1200微米。单视野最大范围:1.4mmx1mm,以便于大范围观察样品并定位到扫描区域。

主要应用

原子力显微镜是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器,在各类功能材料的机理及结构研究、纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、催化剂研究与失效分析等方面具有不可替代的作用。

1. 表征微纳米尺度材料表面微观形貌、大小、厚度和粗糙度(如:Rms);

2. 表征微纳米尺度材料表面力学机械性能(如:力曲线);

3. 表征微纳米尺度材料定量纳米力学、膜量。

4. 表征微纳米尺度材料的表面电学、磁学性能

(如:EFMMFMKPFMPFM);

样品要求

1. 样品需要提前固定好,并且彻底干燥。

2. 样品大小最大210x210mm ,厚度最高15mm 

3. 样品上下表面整洁,没有油渍灰尘等污染物。

4. 若是纳米颗粒样品,先用一定的分散剂超声分散后,取一滴在云母等很平整的基底上,干燥后测试。若没有云母片,请在测试前到本实验室来取。

5. 如果样品表面有无机盐,先用水等清除盐分并且干燥后来测试,因为盐分结晶影响形貌的扫描。

6. 若是要表征弹性模量,请预先确定样品的杨氏模量范围。

7. 如果是要测试薄膜厚度,预先把薄膜和基底作出一个边界清楚的台阶。

8. 如果是测KPFM,样品不导电需要提前用银浆或者导电胶使样品的表面和基底(铁片)连通。

9. 如果是测PFM,样品要有压电性质。

10. 如果是测MFM,样品要有磁性。

11. 探针测试中心储备一些常规型号,需评估后根据需求付费购买,特殊需求探针需评估后自备。

面向学科

材料科学及其相关领域

其他说明

 

 

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