各位用户：

测试中心新购置超高真空互联综合测试表征系统已完成安装调试， 2025年1月9日-2025年7月3日面向全校试运行（试运行期间样品制备设备部分免收测试费,首次预约课题组优先），欢迎广大校内外师生、用户了解、预约、使用。

一、高真空互联系统介绍

仪器品牌：上海费勉仪器有限公司

仪器型号：定制

仪器简介：高真空互联综合表征系统是一套通过独立多仓段组合，配套自动样品传送系统，联接超高真空生长腔体（PVD）、高温管式炉模块（CVD）、激光快速加热台、等离子改性模块、手套箱模块样品制备及处理设备和X射线光电子能谱、紫外光电子能谱和反光电子能谱测试分析仪器，实现一站式样品制备、处理、改性及多模态原位表征分析，获取样品本征状态下的高精度测试表征数据。

特色功能：

1． 超高真空PVD薄膜生长：目前安装了Cu，SrTiO3，ITO，NdNiO3靶材。

2． 等离子改性：能够满足多种气体（包括 Ne、Ar、N₂、O₂，H₂、CF₄、CH₄等）及其混合气体的等离子激发，可对样品表面进行改性处理。

3． 超高真空内激光快速加热：样品台工作温度：80 K-1400 K。

4． 原位高温高压反应：对样品进行原位反应，真空传样，保证样品不暴露大气进行准原位XPS测试。

5． 手套箱样品准备：通过手套箱对空气敏感样品进行XPS样品制样以及传样。

主要技术指标：

1．高真空直线管道：

（1）腔体通径不少于148 mm，腔体经充分烘烤后的极限真空不低于5×10 ^-10mbar；

（2）超高真空轨道和外部驱动模块，超高真空直线导轨不少于2 m；

2．超高真空生长腔体（PVD）：

（1）本底真空不低于5×10 ^-8mbar;

（2）超高真空四轴高温样品架: 样品台温度范围：RT-1000K, 四路质量流量计;

（3）四组2寸直流溅射靶, 最大溅射功率：750 W DC，250 W RF, 带晶振套装；

3．激光快速加热台：样品台工作温度：80 K-1400 K, 制冷方式：液氮降温； 加热方式：激光加热；

4．高温管式炉模块（CVD）：最高温度可达1100℃，PID控制，炉内配备石英支架。

5．等离子改性模块：高效等离子发生器，能够满足多种气体（包括 Ne、Ar、N₂、O₂，H₂、CF₄、CH₄等）及 其混合气体的等离子激发，可对样品表面进行改性处理。

6．手套箱模块：与快速进样腔体对接，实现样品的无损制备及传递。

主要应用领域:

1. 固体物理和材料科学：研究新材料（如半导体、超导体、纳米材料等）的结构和性能。

2. 催化剂研究：在催化剂的开发和优化过程中，考察其表面性质和反应机制。

3. 生物材料和药物研究：分析生物材料的表面特性和相互作用，评估其在生物医学应用中的表现。

4. 薄膜与涂层：用于研究涂层和薄膜的成分、结构及其在不同条件下的稳定性。

5. 电子器件开发：微电子和纳电子器件的制作中，分析材料的电子特性和界面效应。

二、预约方式

预约方式：http://tims.fzu.edu.cn（网上预约）超高真空互联系统

安放地点：福州大学国家大学科技园阳光科技大厦北230

联系人：何老师（18060476059）， 肖老师（18050193901）